AZBIL日本山武PBC-201VNO,PBC-201VN0

azbil PBZ-CL007V邊緣檢測(cè)傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測(cè)傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測(cè)傳感器
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個(gè)CMOS線性圖像傳感器專(zhuān)長(zhǎng)檢測(cè)薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。

• FDN算法
  高精度的邊緣檢測(cè)*1
   
• 針對(duì)檢測(cè)面污垢會(huì)影響檢測(cè)精度的課題，配置了線性圖像傳感器和光量衰減報(bào)警功能。
   
• 透明物體檢測(cè)用算法
  可穩(wěn)定檢測(cè)透明物體。
   
• 標(biāo)準(zhǔn)雙通道輸入控制器
  可進(jìn)行雙檢測(cè)值運(yùn)算，減少布線工作量，節(jié)省空間。
   
• RS-485通信(僅對(duì)應(yīng)PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可將數(shù)據(jù)傳輸至PLC及觸摸界面。
   
• 安 全性能
  JIS 1級(jí)光束。不需要任何特別保護(hù)措施。
   
• 多功能
  可忽略薄膜不規(guī)則部分的干擾消除功能*2
  玻璃基板對(duì)準(zhǔn)時(shí)傾斜度θ計(jì)算功能*3
  通過(guò)位置變化檢測(cè)功能可檢測(cè)出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
   

*1. 重復(fù)精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 僅 限于 PBC-201VN0/2
*3. 僅 限于 PBC-203VN2

測(cè)定內(nèi)容

控制器型號(hào)	邊緣位置測(cè)定 (透明體或不透明體)	遮光寬度測(cè)定	間隙測(cè)定
7 mm傳感器頭用PBC-201VN0	○	―	―
7 mm傳感器頭用PBC-201VN2	○	○	○
30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2	○	―	―

重復(fù)精度 ±1 μm* — 準(zhǔn)確檢測(cè)出真實(shí)的邊緣位置

FDN算法是一種對(duì)于任意的工作距離(WD)都能準(zhǔn)確地計(jì)算出真實(shí)的邊緣位置的算法。

*PBZ-CL007V的重復(fù)精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復(fù)精度為±5 μ。檢測(cè)條件請(qǐng)參照規(guī)格。

• 菲涅爾衍射
  光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會(huì)發(fā)生衍射。受光部衍射光的強(qiáng)度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離(WD)。

不受檢測(cè)面污垢引起的受光光量衰減的影響

受光單元采用線性圖像傳感方式，不受檢測(cè)面污垢的影響，實(shí)現(xiàn)高精度的檢測(cè)。并且，
配置了“光強(qiáng)度衰減報(bào)警功能”，到了維修時(shí)期便會(huì)發(fā)出警報(bào)。

• 傳統(tǒng)方式(PD)
  因遮光引起受光量的減少，使PD的線性輸出發(fā)生變化。這種傳統(tǒng)的PD方式，由于受光面污垢（或檢測(cè)物透明度）造成受光光量衰減，使輸出值發(fā)生變化。所以，為了防止污垢，需要進(jìn)行空氣吹掃。
   
• 本公司的線性圖像傳感方式
  根據(jù)各像素的亮度信息，測(cè)出遮光寬度。即使受光光量衰減，只要線性圖像傳感器的入光量不變，邊緣位置的輸出值就不會(huì)變化。

干擾消除功能

不檢測(cè)標(biāo)簽等凸起物，只檢測(cè)薄膜的邊緣。
將當(dāng)前的測(cè)定值與設(shè)定時(shí)間（輸出延遲時(shí)間）前的數(shù)值進(jìn)行比較，如果變化量超過(guò)了設(shè)定值（跳讀設(shè)定值），則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。

θ演算功能

根據(jù)玻璃邊緣的位置變化，演算傾斜度θ后輸出。測(cè)量范圍：±3°。

缺口檢測(cè)功能（位置變化輸出）

設(shè)定位置變化時(shí)間(T)和位置變化量(L)，如果變化量超過(guò)設(shè)定的傾斜度，進(jìn)行數(shù)字(DO)輸出。

應(yīng)用

• 檢測(cè)晶圓的偏芯和缺口位置
  能夠穩(wěn)定檢測(cè)透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且，由于采用了線性圖像傳感方式，因此還能越過(guò)視孔進(jìn)行檢測(cè)。

• 檢測(cè)薄膜蜷曲
  通過(guò)使用2對(duì)傳感器探頭計(jì)算傳感器探頭間的輸出值，可同時(shí)檢測(cè)薄膜蜷曲和薄膜寬度。

• 檢測(cè)薄膜和薄片厚度

• 檢測(cè)玻璃基板凹凸和裂痕
  利用位置變化檢測(cè)功能，可檢測(cè)到傳送帶上的玻璃基板邊緣的缺口和裂痕。

• 測(cè)定玻璃基板的XYθ
  利用3對(duì)傳感器，除了能計(jì)算玻璃基板的X和Y值外，還能通過(guò)內(nèi)部演算計(jì)算出θ值。

規(guī)格

上述規(guī)格是檢測(cè)物體和邊緣方向被設(shè)定為“不透明體TOP”或“不透明體BOTTOM”時(shí)的數(shù)據(jù)。其他設(shè)定時(shí)，請(qǐng)與本公司聯(lián)系。

*1. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測(cè)物位置=從測(cè)定寬度中心位置移動(dòng)±0.5 mm時(shí)。
*2. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測(cè)物位置=從測(cè)定寬度中心位置移動(dòng)±3.5 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
*3. 投受光器間距離=100 mm，工作距離=50 mm，檢測(cè)物位置=從測(cè)定寬度中心位置移動(dòng)±0.5 mm時(shí)。
*4. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測(cè)物位置=從測(cè)定寬度中心位置移動(dòng)±15 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
工作距離(WD): 受光器與檢測(cè)物之間的距離